Kompresor Udara Bebas Minyak kanggo Lab Semikonduktor

Kanggo nggawe jalur sarana sing dipercaya kanggo fasilitas riset presisi, sumber saka Kompresor Udara Bebas Minyak China kanggo pemasok Semiconductor Labs. Solusi udara kemurnian dhuwur DECHUAN nggunakake segel isolasi karbon multi-lapisan kanggo ngilangi hidrokarbon tilak, njamin kualitas gas murni kanggo etsa silikon kritis.

Syarat Kemurnian Gas Cleanroom Kritis

Ing fabrikasi semikonduktor lan litografi film tipis, sanajan setitik mikroskopis uap minyak sing digawa liwat saluran udara bisa ngrusak kabeh produksi. Produk khusus iki dirancang kanggo nyukupi standar kemurnian sing paling dhuwur:

• Pangiriman Udara Kelas 0 sing Disertifikasi TÜV: Sistem kita ngalami tes sing ketat ing suhu operasi variabel. Analisis independen nandheske pancen nol jejak lenga ing aliran udara output.

• Corrosion-Free Internal Air Paths: Saben Piece saka piping, mbendel adhem, lan pamisahan matriks hilir saka kamar komprèsi digawe saka stainless steel premium kanggo nyegah flakes teyeng saka contaminating garis udara cleanroom.

• Integrasi Elektronikon® Lanjut: Kontroler terintegrasi kanthi rapet nglacak metrik operasional lan nduweni fitur shutdown safety proaktif kanggo mesthekake yen ora ana hawa najis sing mlebu ing kothak lab.

Biaya Kontaminasi Mikro sing Dhuwur ing Elektronik

Ing fabrikasi wafer semikonduktor, tetesan siji aerosol lenga bisa ngrusak kabeh lingkungan kamar resik, ngrusak ewonan wafer silikon lan nyebabake jutaan wektu produksi ilang. Kompresor udara tradisional ora bisa njamin kemurnian nol hidrokarbon mutlak sing dibutuhake kanggo proses skala nanometer kasebut.

Kompresor Udara Bebas Minyak khusus kanggo Lab Semikonduktor njamin keamanan proses murni:

• Certified CLASS 0 Air Flow: Diuji kanthi ketat dening TÜV ing kisaran termal lan tekanan sing ekstrem kanggo njamin anané lenga nol mutlak.

• Internal Particulate-Free: Precoolers stainless steel lan penukar panas sirip bintang ngilangake flakes oksidasi utawa shedding kimia ing dalan online.

• Electronic Monitoring Shield: Weker pangopènan proaktif lan mateni kesalahan otomatis nyegah panyimpangan sistem sadurunge tekan alat kamar resik.

Parameter Kemurnian Teknis

• Sistem Power Rating: 55kw - 900kw konfigurasi Kapadhetan dhuwur.

• Tingkat Pangiriman Volumetrik: 4,2 - 148,5 m³ / min output stream resik.

• Klasifikasi Isi Minyak: ISO 8573-1 Kelas 0 validasi tanpa lenga.

• Cooling Layout: Cooling adi baja tahan karat nyegah outgassing kimia.

Kondisi referensi kinerja kanggo unit diukur miturut Lampiran C, edisi kaping 4 (2009) saka ISO 1217:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan inlet absolut: 1 bar

· Suhu inlet: 20°C Discharge rate (FAD) diukur ing tekanan operasi ing ngisor iki:

Tipe kacepetan konstan:

· -7,5 bar jinis: 7 bar

· -8,6 bar jinis: 7 bar

· -10 bar jinis: 9 bar

Tipe VSD:

· -8,6 bar jinis: 7 bar

· -10,4 bar jinis: 9 bar

· (2) Tingkat tekanan swara emisi bobot kelas A saka workstation (LpWSAd). Diukur miturut ISO 2151:2004 (nggunakake metode scanning intensitas swara 150 9614/2). Faktor koreksi sing mentas ditambahake yaiku nilai sing ora mesthi (KpAd), sing cocog karo kode tes.

· (3) Bobot mung kanggo referensi; bobot nyata sing diwenehake bakal menang.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Miturut ISO 1217 Annex C, 4th Edition (2009), kondisi referensi kinerja unit kaya ing ngisor iki:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan inlet absolut: 1 bar

· Suhu mlebu: 20°C

FAD pamindahan diukur ing tekanan operasi ing ngisor iki:

Model kacepetan konstan:

-Model 7,5 bar: 7 bar

-8.6 bar model: 7 bar

-10 bar model: 9 bar

Model VSD:

-8.6 bar model: 7 bar

-Model 10,4 bar: 9 bar

(2) Tingkat tekanan swara emisi bobot kelas A saka workstation (LpWSAd). Diukur miturut ISO 2151:2004 (metode scanning intensitas swara ISO 9614/2). Faktor koreksi sing mentas ditambahake KpAd ora mesthi, tundhuk karo kode tes.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Bobot mung kanggo referensi; bobot nyata bakal menang.

ZR/ZT 200-275 (FF)

- Kelembapan relatif: 0%

- Tekanan inlet absolut: 1 bar

-Suhu inlet: 20 ° ℃

Tingkat Discharge (FAD) diukur ing tekanan operasi ing ngisor iki

Tipe kacepetan konstan:

-7,5 bar jinis: 7 bar

-8.6 bar jinis: 7 bar

-10 bar jinis: 9 bar

Tipe VSD:

-8.6 bar jinis: 7 bar

-10,4 bar jinis: 9 bar

(2) Tingkat tekanan swara emisi bobot kelas A saka workstation (LpWSAd).

Diukur miturut ISO 2151:2004 (nggunakake 150 9614/2 (metode scanning intensitas swara).

Faktor koreksi sing mentas ditambahake yaiku nilai sing ora mesthi (KpAd), sing cocog karo kode tes.

(3) Bobot mung kanggo referensi; bobot nyata sing diwenehake bakal menang.

ZR 300-750

Kondisi referensi kinerja kanggo unit diukur miturut Lampiran C, edisi kaping 4 (2009) saka ISO 1217:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan inlet absolut: 1 bar

· Suhu inlet: 20°C Discharge rate (FAD) diukur ing tekanan operasi ing ngisor iki:

Tipe kacepetan konstan:

· -7,5 bar jinis: 7 bar

· -8,6 bar jinis: 7 bar

· -10 bar jinis: 9 bar

Tipe VSD:

· -8,6 bar jinis: 7 bar

· -10,4 bar jinis: 9 bar

· (2) Tingkat tekanan swara emisi bobot kelas A saka workstation (LpWSAd). Diukur miturut ISO 2151:2004 (nggunakake metode scanning intensitas swara 150 9614/2). Faktor koreksi sing mentas ditambahake yaiku nilai sing ora mesthi (KpAd), sing cocog karo kode tes.

· (3) Bobot mung kanggo referensi; bobot nyata sing diwenehake bakal menang.

ZR 200X-400X

Kondisi referensi kinerja kanggo unit diukur miturut Lampiran C, edisi kaping 4 (2009) saka ISO 1217:

· Kelembapan relatif: 0%

· Tekanan inlet absolut: 1 bar

· Suhu inlet: 20°C Discharge rate (FAD) diukur ing tekanan operasi ing ngisor iki:

Tipe kacepetan konstan:

· -7,5 bar jinis: 7 bar

· -8,6 bar jinis: 7 bar

· -10 bar jinis: 9 bar

Tipe VSD:

· -8,6 bar jinis: 7 bar

· -10,4 bar jinis: 9 bar

· (2) Tingkat tekanan swara emisi bobot kelas A saka workstation (LpWSAd). Diukur miturut ISO 2151:2004 (nggunakake metode scanning intensitas swara 150 9614/2). Faktor koreksi sing mentas ditambahake yaiku nilai sing ora mesthi (KpAd), sing cocog karo kode tes.

· (3) Bobot mung kanggo referensi; bobot nyata sing diwenehake bakal menang.

Studi Kasus Panganggo Laboratorium Cleanroom

Produsen elektronik ing Asia nginstal sistem udara khusus DECHUAN kanggo nyuplai puteran generasi nitrogen kanthi kemurnian dhuwur lan senjata uji pneumatik. Sadurunge, kompresor standar ngidini vapors lenga tilak kanggo migrasi saringan inline kepungkur, nutupi lensa lithography lan nyebabake mikro-fraktur ing lapisan wafer. Sawise nginstal Kompresor Udara Bebas Minyak kanggo Lab Semikonduktor, lab kasebut nglaporake kedadeyan kontaminasi garis sing gegandhengan karo minyak, ngirit biaya reresik lan kalibrasi ulang sing akeh sajrone rong taun operasi terus-terusan.

Ngatur & Kontrol Komponen Custom

• Stainless Steel Material Upgrade: We ngganti kabeh komponen cast internal standar karo dhuwur-bahan stainless steel kanggo ketemu pedoman mikro-kontaminasi ketat.

• Protokol Komunikasi Lanjut: Unit kasebut wis diisi karo protokol komunikasi khusus, ngidini pusat kontrol kamar resik kanggo ngawasi metrik udara saka adoh.

• Jejak Struktural Kompak: Tata letak interior dioptimalake kanggo nyilikake jejak, supaya gampang dipasang ing ruang sarana ruang paling ngisor laboratorium sing ketat.

FAQ Pembeli Industri

P: Apa kita bisa nyambungake kompresor iki langsung menyang puteran filtrasi ultra-high-purity (UHP)?

A: Ya, output udhara kita kompatibel karo pengering desiccant kamar resik lan sistem filtrasi partikel sub-mikron. Amarga udhara mentah ngemot uap minyak nol, saringan khusus sing digunakake ora bakal macet karo kabut minyak, nambah umur saringan.

P: Kepiye segel Z-jinis njamin migrasi minyak nol saka perakitan gear?

A: Kompresor Udara Bebas Minyak kanggo Lab Semikonduktor nduweni ruang ventilasi atmosfer fisik ing antarane omah gear sing dilumasi minyak lan kamar kompresi garing. Segel dering karbon non-kontak khusus dipasangake karo saluran tekanan negatif, mesthekake manawa kabut lenga gear diblokir supaya ora mlebu aliran udara sing resik.

P: Apa sing kedadeyan yen sensor suhu internal ndeteksi maca sing ora normal?

A: Pengontrol Elektronikon® njupuk conto data penting kaping pirang-pirang saben detik. Yen lonjakan suhu dideteksi ing tahap apa wae, sistem kasebut langsung mateni otomatis lan nutup katup isolasi, supaya hawa sing ora adhem ora bakal mili menyang peralatan sensitif lab sampeyan.